Naprašovací zařízení nanoEM Moorfield

Špičkové pokovování pro elektronovou mikroskopii

NanoEM je snadno použitelný, rychlý a kompaktní systém navržený pro rutinní přípravu vzorků pro SEM a TEM naprašováním kovů nebo uhlíku. Je sestaven ze špičkových komponent a díky kompatibilitě s konvenčními 2” terči máte otevřené možnosti jeho využití. Systém nanoEM standardně zahrnuje nerezovou komoru, turbomolekulární vývěvu, vodou chlazený magnetron a přesný naprašovací zdroj, vše dohromady v kompaktním stolním provedení.

Klíčové vlastnosti:

• až dva 2” magnetronové naprašovací zdroje
• podporuje standardní 2” terče
• držáky pro SEM/TEM stub, případně celé wafery
• rychlé čerpání turbomolekulární vývěvou
• DC magnetronový zdroj s nastavitelným výkonem až do 300 W
• plně automatický provoz ovládaný z dotykové obrazovky
• navržený pro snadný servis
• řada bezpečnostních interlocků
• kompatibilní s čistými prostory