Napařovací systémy BESTEC

E-beam a tepelné napařování Bestec

Nabízíme dva e-beam a jeden tepelný napařovací systém firmy Bestec. Pro řešení šitá na míru vašim aplikacím se obraťte přímo na nás.

UHV – E-vap

• komora umožňuje chlazení tekutým dusíkem nebo regulované ohřívání vzorku
• load lock s integrovanou přípravou a oxidací vzorku
• napařovaní tepelné nebo pomocí elektronového svazku

UHV depoziční systém

• UHV aparatura s velkými dveřmi pro přípravu vzorků a napařovaného materiálu
• lineární elektronový svazek pro více tavících lodiček  
• 4 wolframové lodičkové evaporátory
• 2 standardní evaporátory 
• možnost planárního magnetronové zdroje
• automatický vakuový systém, monitor tloušťky
• mechanika pro manipulaci se vzorkem

HV tepelný depoziční systém

• depoziční komora s až čtyřmi tepelnými evaporátory
• load lock integrovaný v glove boxu
• manipulace se vzorky o průměru až 3″
• čtyři držáky vzorků současně v depoziční komoře
• variabilní vzdálenost od depozičního zdroje