MiniLab Moorfield
Flexibilní modulární systémy pro vysoce kvalitní PVD
PVD systémy MiniLab od firmy Moorfield poskytují skvělý výkon při přípravě povlaků a díky flexibilitě a modularitě mohou splnit i obrovský rozsah požadavků zákazníků. Řada přístrojů MiniLab sestává z několika různých platforem, které lze vybavit všemi běžnými PVD technikami: napařování, nízkoteplotní napařování, e-beam napařování a magnetronové naprašování. Obecně je každá platforma MiniLab spojena s vakuovou komorou určité velikosti. Kromě samotné depozice tenkých vrstev lze systémy minilab vybavit i komplementárními technikami jako jsou iontové zdroje, leptací komponenty a žíhací stolky. Systémy MiniLab se světě proslavili díky své spolehlivost, kompaktní velikosti a snadnosti použití.
Hlavní vlastnosti systémů:
MiniLab 125
- PVD depozice kovů, dielektrik i organických materiálů
- techniky napařování, nízkoteplotní napařování, e-beam napařování a magnetronové naprašování
- velká komora s efektivním čerpáním pomocí turbomolekulární vývěvy
- velké dveře komory otevírané dopředu, možnost posuvných dveří (do glove-boxů) nebo zakládací komory
- umožňuje instalaci velkých zdrojů pro pilotní produkci (až 11″), nebo několika technik současně pro flexibilní výzkumný systém
- bezpečnostní interlocky a kompatibilita s čistými prostory
- navržený pro snadný servis a údržbu
- automatická i manuální kontrola procesů
- řada volitelných možností – čerpání, plyny, stolky, shuttery, QCM…
MiniLab 090
- navržený pro integraci do gloveboxů – snadný přístup díky předním posuvným dveřím
- dovoluje servisní přístup ze zadní strany
- díky velké výšce je ideální pro větší pracovní vzdálenosti nutné pro vyšší uniformitu
- jinak má podobné volitelné možnosti jako MiniLab 125
MiniLab 080
- ideální pro napařovací procesy
- díky velké výšce při větší pracovní vzdálenosti dosahuje lepší uniformitu procesů
- jinak podobný jako MiniLab 090, ovšem bez přístupu ze zadní strany, podstava ve tvaru písmene D
MiniLab 060
- menší výška komory ideální pro magnetronové naprašování
- jinak podobný jako MiniLab 080
MiniLab 026
- kompaktní systém s odklopnou horní částí komory, maximálně pro 6″ wafery
- jediný systém, který lze nainstalovat do již existujících gloveboxů
- bez možnosti zakládací komory, e-beam zdroje a některých možností stolku
Mám zájem o přístroj
Kontaktujte našeho obchodníka
Dušan Novotný
obchodní zástupce
- +420 739 420 134
Kontaktujte našeho obchodníka
Jakub Horák
obchodní zástupce
- +420 730 896 958