DSCR

Stolní naprašovací a uhlíkové povlakovací zařízení DSCR od společnosti Vac Coat Ltd. je kompaktní systém určený pro depozici tenkých vrstev pomocí naprašování a uhlíkového povlakování. Toto zařízení je vhodné pro aplikace v oblastech jako jsou mikro a nano elektronika, příprava vzorků pro rastrovací elektronovou mikroskopii (SEM) a další techniky vyžadující tenké vrstvy.

Hlavní charakteristiky a funkce

DSCR je vybaveno dvoustupňovým rotačním vaneovým čerpadlem s kapacitou 6 m3/h a poskytuje možnost naprašování pomocí DC napájení s výkonem 80 W. Zařízení dále nabízí pulzní DC napájení 0-25 A pro odpařování uhlíkových vláken a volitelně 0-100 A DC napájení pro odpařování uhlíkových tyčí. Unikátní je možnost použití magnetronové katody o průměru 2, 3 nebo 4 palce, což umožňuje efektivní pokrytí vzorků s průměrem až 15 cm.

Zařízení je vybaveno kvartovým krystalovým tloušťkoměrem, který poskytuje přesnost měření do 1 nm a rozlišení do 1 Å, což je klíčové pro precizní nanášení vrstev. Uživatelské rozhraní obsahuje intuitivní 7palcový dotykový displej, který zobrazuje informace o procesu vakuového povlakování ve formě digitálních dat nebo křivek.

Aplikace

DSCR je ideální pro aplikace vyžadující vysokou kvalitu a přesnost depozice, jako jsou přípravy vzorků pro SEM, FE-SEM, EDX (energetická disperzní rentgenová spektroskopie) a TEM (transmisní elektronová mikroskopie). Díky možnosti GLAD naprašování (Glancing Angle Deposition) je vhodné i pro speciální aplikace, jako je úprava TEM mřížek pro zlepšení hydrofilicity.

Specifikace

• Rozměry komory: 300 mm OD x 210 mm H z Pyrexu
• Celkové rozměry zařízení: 58 cm výška x 50 cm šířka x 63 cm hloubka
• Koncové vakuum: méně než 50 mTorr
• Spotřeba energie: 220 V/110 V, 50/60 Hz, 1.7 kW
• Hmotnost při dopravě (bez vakuového čerpadla): 42 kg

Dodatečné možnosti a příslušenství

Zařízení lze dovybavit externím zdrojem pro evaporaci uhlíkových tyčí, systémem pro planetární rotaci vzorků, náhradní vákuovou komorou a dalšími prvky podle specifických požadavků uživatele.

DSCR představuje špičkové řešení pro laboratoře vyžadující vysokou flexibilitu a přesnost v procesu povlakování tenkých vrstev. Jeho schopnost manipulace s různými materiály a komplexní automatizace z něj dělají vhodnou volbu pro širokou škálu aplikací v oblasti materiálového výzkumu a procesního inženýrství.