Stolní reflektometr FTPadv

Nejrychlejší způsob měření tloušťky

Reflektometr FTPadv při měření podle odpovídajícího receptu určuje tloušťku vrstvy v méně než 100 ms s přesností lepší než 0,3 nm v rozsahu tloušťky až 50 nm – 25 µm. Chytrá funkce AutoModel redukuje možnost chyby operátora na minimum srovnáním měřeného spektra s rozsáhlou knihovnou spekter. Materiálová data pro vyhodnocení měření pocházejí z knihovny firmy SENTECH založené na nejlepších datech ze spektroskopické elipsometrie.

Stolní reflektometry FTPadv přesně a reprodukovatelně určují tloušťku a index lomu průhledných a mírně absorbujících vrstev na průhledných a odrážejících substrátech. FTPadv je cenově efektivní kompaktní nástroj pro rychlé a přesné měření vrstev nebo kontrolu procesu. Snadno může být ovládán vzdáleně pro použití v nepříznivém prostředí, speciálních komorách, za vysokých nebo nízkých teplot apod.

Pro náročnější aplikace lze dokoupit pokročilý software FTPadv Expert, dovolující fitování naměřených dat například s neznámými optickými konstantami, drsnými rozhraními apod.

Další informace k softwaru naleznete ZDE.