Infračervený elipsometr SENDIRA

Elipsometrická vibrační spektroskopie.

Infračervený spektroskopický elipsometr SENDIRA dovoluje analyzovat vlastnosti tenkých vrstev v infračervené oblasti pomocí jejich absorpčních struktur náležejících molekulárním vibračním módům. U polovodivých vrstev lze také určovat koncentraci a pohyblivost nosičů náboje, volitelně lze FTIR nahradit obecnou vibrační spektroskopii. Jako zdroj záření je použit externí paprsek z jiného FTIR přístroje, který může být dále nezávisle používán.

SENDIRA je navržen speciálně pro FTIR spektroskopii. Kompaktní stolní přístroj obsahuje profukovanou elipsometrickou optiku, počítačem řízený goniometr, horizontální přístavek pro vzorek, autokolimační teleskop a komerční FTIR s DTGS nebo MCT detektorem. FTIR poskytuje excelentní přesnost a vysoké rozlišení ve spektrálním rozsahu 400 cm^-1 až 6000 cm^-1 (1.7 µm – 25 µm).

Spektroskopický elipsometr SENDIRA měří tloušťku, index lomu, extinkční koeficient a příbuzné vlastnosti objemových materiálů, jednoduchých vrstev a multivrstev. Pomocí infračerveného záření se otevírá možnost zkoumat i vrstvy zakryté pod vrstvami neprůhlednými ve viditelné oblasti spektra. Může tak být analyzováno složení materiálů a orientace větších skupin molekul a řetězců, v místech nedostupných jinými metodami.

Spektroskopický elipsometr SENDIRA je zaměřen na vibrační spektroskopii a nalézá uplatnění v oblastech od dielektrických vrstev, přes průhledné vodivé oxidy, polovodiče až k organickým vodivým vrstvám. SENDIRA je ovládám pomocí software SpectraRay/4.