Automatizovaný spektroskopický elipsometr SENDURO

Automatizovaná měřící stanice pro mapování spektroskopickou elipsometrií

SENDURO je plně automatizovaná měřící stanice pro mapování spektroskopickou elipsometrii. Nevyžaduje uživatele k manuálnímu nastavení výšky a náklonu vzorku, čímž napomáhá k přesnému aopakovatelnému elipsometrickému měření. Patentované zařízení pro automatické nastavení vzorku výrazně redukuje provozní chyby, funguje na průhledných i odrazivých vzorcích a dokáže automaticky mapovat tenké vrstvy dokonce i na ohnutých waferech.

SENDURO exceluje v průmyslových aplikacích, které vyžadují vysokou prostupnost pro vzorky, snadné použití a automatické nastavení vzorku. Software SENDURO firmy SENTECH umožňuje měření tloušťky a indexu lomu jednoduchých vrstev i vrstevnatých systémů na průhledných i odrazivých substrátech. Celkový čas měření v jednom bodě netrvá více než několik vteřin i s využitím principu Step Scan Analyzer navrženého pro výbornou přesnost měření. SENTECH nabízí SENDURO se zakládací kazetou pro velikost vzorků až do průměru 300 mm (12″ wafer).

SENDURO je dodáván s rozsáhlou knihovnou předdefinovaných měřících rutin pro opakované použití, které uživatel může snadno pozměnit podle svých potřeb. Software obsahuje i interaktivní mód s grafickým uživatelským rozhraním. Pro analýzu dat a zpracování komplexnějších úloh obsahuje integrovaný balík modelování, simulací a úprav dat.