Kombinovaný elipsometr-reflektometr CER SE 500adv

Nikdy nebylo jednodušší aplikovat elipsometrii na reálné vzorky

Přístroj CER SE 500adv kombinuje laserovou elipsometrii a reflektometrii pro jednoznačné určování tloušťky průhledných vrstev. Disponuje velkým měřícím rozsahem tlouštěk, pro průhledné vrstvy až 25 µm a více v závislosti na zvoleném fotometru. Rozšiřuje tedy možnosti standardního laserového elipsometru zejména do oblastí analýzy tlustších vrstev. Díky víceúhlovému měření je možné určit tloušťku filmu, ale i index lomu a extinkční koeficient.

CER SE 500adv lze používat jako laserový elipsometr, sondu tloušťky vrstvy (FTP – Film Thickness Probe) a jako kombinovaný elipsometr-reflektometr (CER – Combined Ellipsometry Reflectometry). CER SE 500adv nabízí maximální všestrannost pro vaši laboratoř – od rychlého měření vrstev se známými optickými konstantami pomocí FTP pod kolmým úhlem dopadu v bílém světle, přes laserovou elipsometrii přesnou pro jednoduché vrstvy až po jednoznačné určení tloušťky složitějších systémů v režimu CEP.