KATEGORIE MĚŘICÍCH PŘÍSTROJŮ:

Příprava a charakterizace tenkých vrstev


Zde naleznete techniky pro přípravu a charakterizaci tenkých vrstev. Depoziční techniky zahrnují fyzikální (PVD), chemické (CVD) i plazmochemické (PECVD) techniky. Plazmové leptání je zařazeno mezi PECVD techniky. Pro charakterizaci tenkých vrstev můžeme nabídnout elipsometry a reflektometry, optické a mechanické profilometry a případně maloúhlový rozptyl (GI)SAXS.

 

Elipsometry a reflektometry
      • Spektroskopický elipsometr SENresearch 4.0
      • Spektroskopický elipsometr SENpro
      • Infračervený elipsometr SENDIRA
      • Automatizovaný spektroskopický elipsometr SENDURO
      • Laserový elipsometr SE 400adv
      • Kombinovaný elipsometr-reflektometr CER SE 500adv
      • Spektroskopické reflektometry RM
      • Stolní reflektometr FTPadv
Chemická depozice z plynné fáze - CVD
      • nanoCVD Moorfield
Napařovací a naprašovací depoziční systémy, laserová depozice, MBE
      • MiniLab Moorfield
      • nanoPVD Moorfield
      • Napařovací systémy BESTEC
      • Naprašovací systémy BESTEC
      • Molekulární epitaxe BESTEC
      • Depozice pulzním laserem BESTEC
      • Molekulární epitaxe MiniMBE CreaTec
      • Evaporátory CreaTec
      • naprašovačky nanoEM Moorfield
      • Systém pro výzkum růstu vrstev CreaTec
Plazmochemická depozice a leptání - PECVD, RIE, ALD
      • ICP RIE leptací aparatura SI 500
      • CCP RIE leptací aparatura Etchlab 200
      • CCP RIE leptací aparatura SI 591 compact
      • ICPECVD depoziční aparatura SI 500 D
      • PECVD depoziční aparatura SI 500 PPD
      • PECVD depoziční aparatura Depolab 200
      • Depoziční systém SI ALD
      • Klastry pro depozice a leptání SENTECH
      • nanoETCH Moorfield

  Kontakty:


Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika

e-mail: info@mt-m.eu         tel: + 420 513 034 408               podrobné kontakty:         on line schůzka: