Dektak Pro
Osvědčená technologie, lepší výkon
V návaznosti na 55 let inovací v oblasti měření povrchu a technologického vedoucího postavení nastavuje Dektak Pro™ nový standard pro výkon dotekového profilometru. Systém jedinečně poskytuje data nejvyšší kvality s bezkonkurenčně snadným používáním.
Tento systém 11. generace Dektak® kombinuje:
- Bezkonkurenční přesnost a opakovatelnost lepší než 4 Å
- Zrychlená rychlost měření a analýzy
- Sada exkluzivních funkcí Bruker pro všestrannost a snadné použití
Pouze Dektak Pro poskytuje nejnovější pokroky v profilometrii doteku a spolehlivost potřebnou k podpoře vašeho špičkového výzkumu a průmyslových aplikací i v budoucnu.
- Jednička v oboru měření a analýzy zajístí vždy správné a přesné údaje.
- Unikátní skenovací plocha s přímým pohonem zrychlí čas dosažení výsledků
- Zjednodušený software a výměna hrotů poskytujte bezkonkurenční všestrannost a snadné použití.
Vlastnosti
Během posledních pěti desetiletí vedly systémy Bruker Dektak v oboru technologie profilometrie a dosáhly milníků zlepšení v rozlišení, stabilitě, rychlosti a všestrannosti. Nyní jsou systémy Dektak dobře zavedené jako zlatý standard profilometrie. Když je potřeba přesný a důvěryhodný kontaktní profilometr, Dektak je již dlouho nezpochybnitelným řešením.
Dektak Pro dělá další krok vpřed v inovaci profilometrie, poskytuje ještě lepší operativnost, spolehlivost a přesnost měření, aby zlepšil a rozšířil vlastnosti, díky nimž je Dektak synonymem profilometrie.
Maximalizace opakovatelnosti a přesnosti
Dektak Pro poskytuje přesná data s nejvyšším rozlišením, nejnižší úrovní šumu a nejjednodušší výměnou hrotu jakéhokoli komerčně dostupného kontaktního profilometru. Nejmodernější technologie měření a analýzy maximalizuje opakovatelnost a přesnost, umožňuje měření výšky kroku po jednom nanometru a lepší opakovatelnost než 4 Å.
Zvýšení efektivity měření
Každý krok procesu měření a analýzy je urychlen pomocí Dektak Pro. Technologie skenovací fáze s přímým pohonem zkracuje dobu mezi skeny a 64bitové paralelní zpracování v softwaru Vision64® umožňuje rychlé zpracování dat.
Další technologická vylepšení rychlosti a snadného použití v Dektak Pro:
Nový algoritmus
- zaostřuje téměř celé zorné pole v optickém živém obrazu, což usnadňuje lokalizaci zajímavých prvků.
- výšky kroku automatizují rutiny analýzy, zlepšují konzistenci a minimalizují potenciální chyby uživatele ve výpočtech výšky kroku.
Poskytuje maximální všestrannost a snadné použití
Vhodné pro velmi různorodé aplikace
Dektak Pro se zabývá výzkumem a vývojem, vývojem procesů a QA/QC současnými a budoucími potřebami v celé řadě průmyslových a výzkumných aplikací, jako jsou:
- Mikroelektronika
- Silné filmové povlaky
- Biomateriály
Přesné a citlivé ve scénářích dynamického měření
U Dektak Pro pokryje jedna měřicí hlava výšky kroku 5 nm–1 mm a zátěže 0,03–15 mg (s volitelným příslušenstvím N-Lite+) bez rekalibrace. Senzor s nízkou setrvačností (LIS 3) se rychle přizpůsobuje náhlým změnám topografie povrchu a zachovává přesnost a odezvu v scénářích dynamického měření
Rychlá a snadná výměna stylusu
Jedinečná sestava samonastavitelného doteku Dektak Pro usnadňuje rychlou a snadnou výměnu doteku a zároveň eliminuje jakékoli potenciální nehody během procesu. Bruker nabízí nejširší škálu velikostí doteků, aby vyhovovaly téměř všem požadavkům aplikace.
Výběr konfigurace, která nejlépe odpovídá vaší aplikaci a rozpočtu
Dektak Pro se dodává v několika standardních konfiguracích s různými velikostmi stolku – až 200 mm plného přístupu vzorku pro wafery – a automatickými možnostmi stolku, aby vyhovoval vašim jedinečným potřebám a rozpočtu.
Dektak Pro E nebo -S: Manuální 100 mm XY stolek s nebo bez ručního otáčení theta
Dektak Pro A: Automatizovaný 150 mm XY stolek s automatickým 360° theta
Dektak Pro A200: Automatizovaný kódovaný 200 mm XY stolek s jemně kódovaným automatickým 360° theta
Specifikace
| Technika měření: | Kontaktní profilometrie (kontaktní měření) | Možnost nízké síly: | N-Lite+ nízká síla 0.03 – 15 mg (volitelné) |
| Možnost měření: | Dvourozměrné měření profilu povrchu; Volitelné trojrozměrné měření/analýzy: | Možnosti stylusu: | Stylus radius – 50 nm – 25 μm; High Aspect Ratio (HAR) hroty 200 μm x 20 μm; Vlastní tipy dostupné na vyžádání |
| Prohlížení vzorku | Digitální zvětšení, 0,275 až 2,2 mm vertikální FOV | Sample Stage X/Y: | Manualní 100 mm (4 in.) X/Y, manualní leveling; Motorizovaná 150 mm (6 in.) X/Y, manuální vyrovnání; Motorizovaná s encoderem 200mm (8in.) X/Y |
| Stylus Sensor: | Senzor s malou hybností (LIS 3) | Rotační stolek | Manuální, kontinuální 360 stupňů; Motorizované, kontinuální 360 stupňů |
| Síla stylusu: | 1 – 15 mg s LIS 3 sensorem; 0.03 – 15 mg rozsah s volitelným N-Lite+ |
Mám zájem o přístroj
Kontaktujte našeho obchodníka
Felix Holáň
obchodní zástupce
- +420 733 727 920
Kontaktujte našeho obchodníka
Jakub Horák
obchodní zástupce
- +420 730 896 958