Připojte se k nám na první Bruker User meeting roku 2021 zaměřený na BioAFM odpoledne 13. ledna.
Kompletní řešení pro mikroskopii lokalizace jednotlivých molekul: kvantitativní zobrazování například i více škálami a módy
Další generace in-situ testovacích nanomechanických přístrojů Hysitron PicoIndenter pro SEM
K o m p l e t n í o p t i c k á p r a c o v n í s t a n i c e p r o i n - v i v o m u l t i f o t o n o v é z o b r a z o v á n í
Měřicí technika Morava s.r.o. |
Tel.: +420 513 034 408 |
IČ: 293 16 715 DIČ: CZ293 16 715 |
Dušan Novotný - jednatel
|
|
Suché plazmové leptání je základním kamenem výroby mikroelektroniky, zejména díky jednoduchosti použití, homogenitě, opakovatelnosti a vysoké anizotropii.
Využitím plazmatu v technikách plazmochemické depozice je možné významně snížit teplotu substrátu a připravit nové vrstvy mimo podmínky termodynamické rovnováhy. U kapacitně vázaného plazmatu (CCP) je navíc vždy přítomný významný iontový bombard, u induktivně vázaného plazmatu (ICP) je možno dosáhnout vysokých hustot plazmatu, a tedy i vyšší depoziční rychlosti.
SENTECH nabízí aparatury pro depozici i leptání s CCP i ICP zdroji plazmatu, techniku ALD (Atomic layer deposition) s využitím plazmatu a také zapojení těchto aparatur do větších klastrů s transferem vzorků a diagnostikou.
Stránky aparatur SENTECH
Nějaký úvodní text...
Měřicí technika Morava s.r.o, Babická 619, 664 84 Zastávka u Brna, Česká republika
e-mail: info@mt-m.eu tel: + 420 513 034 408 podrobné kontakty: on line schůzka: